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这个要求非常合理。

大佬们纷纷点头,世人常常以为,上海微电子是国家队负责搞光刻机项目的,其实不对,13.5nm的极紫外光刻机,一直由长春光机所负责攻坚,代号02专项。

所谓光刻机02专项,总体架构是这样的。

清华大学和帝都华卓精科,他们两家负责双工件台系统,目前项目进度比较快,已经基本解决了所有问题,因此,华夏成为是世界上第二个掌握该项技术的存在。

而第一个拿下双工件台的是荷兰ASML,他们的Twinscan技术,已经投产数年时间了,被证明性能可靠。

浙江大学流体动力与机电系统实验室,与浙江启尔机电,这两家负责沉浸式光刻机的浸液系统,目前已经基本完成,是继荷兰asml和日本尼康之后,全球第三家掌握该项技术的存在。

准分子激光光源,是中科院光电研究院负责的,传闻目前只能做到40w功率,而荷兰asml采用的光源,功率在2019年就达到了250w,这方面差距还是比较大的。

至于荷兰asml的光源供应商,是北美Cymer和日本Gigaphoton。

最后也是最重要的光学系统,由长春光机所负责物镜,上海光机所负责照明,项目进度未知。

至于荷兰asml的物镜和照明,来自大名鼎鼎的德国蔡司。

凡是了解摄影的人,应该都知道蔡司的镜片水准有多高,当然了,普通消费者多数并不知道,其实卡尔蔡司集团,还有半导体部门。

由此可见,所谓全球最强的荷兰asml光刻机,背后其实是标准的万国造,将全世界所有顶级技术堆在一起,才组成了asml极紫外光刻机。

因此,华夏光刻技术要挑战的不是asml,而是全世界。

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